光刻靶标(也称为标定板、校准板或参考标记)在微纳制造、半导体工艺、光学测量以及机器视觉等领域中扮演着关键角色。以下是光刻靶标的定义与功能的详细阐述:定义光刻靶标是一种具有图案或结构的平板或标记,通常用于在光刻工艺、测量设备或机器视觉系统中进行校准、标定或定位。这些图案或结构可以是几何形状(如圆点、线条、网格、棋盘格等)、条形码、二维码或其他特定的设计,以便机器或软件能够准确识别并据此进行的计算或调整。功能校准:光刻靶标的主要功能之一是校准测量设备或机器视觉系统的精度。通过比较靶标上的已知图案与设备到的图像之间的差异,可以调整设备的参数,如焦距、放大率、镜头畸变等,以确保测量或成像的准确性。
以上信息由专业从事光刻靶标订制的大凡光学于2025/2/27 10:52:37发布
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